電子顕微鏡用検出装置

電子顕微鏡用検出装置
電子顕微鏡用の単結晶ベースの検出装置は、単結晶シンチレータのシンチレーション特性と光導体と組み合わせた製品です。

主な特性

弊社では独自のシンチレーション材料に基づいて、幅広い検知装置や撮像装置をお届けしています。

  • 優れたルミネセンス効率
  • 無限の動作寿命
  • OEM生産、試験、認証

顕微鏡検査装置の生産範囲には、走査型電子顕微鏡(SEM)および透過型電子顕微鏡(TEM)用検出器が含まれます。

SEM検出器
SE(二次電子)検出
  • フラットシンチレータ(標準)
  • 円錐形状(高光出力)
  • 光ファイバ上(小型)
BSE(後方散乱電子)検出
  • 環状(標準)
  • 分割
  • インレンズ(0.3 mmまでの小口径)
CL(陰極線発光)
  • 任意の動作距離での汎用石英ライトガイド
  • 放物線
TEM検出器
STEM検出器
  • ADF
  • HADF
  • BF
TEM検出器

 

Cryturでは設計と開発においてお客様と密接に連携し、お客様のニーズに合わせた特性検出器もご用意できます。

また、弊社ではSEMアップグレードのためのソリューションも提供しています。読出し回路の付いた電動真空検出システムについての詳細は、REBEKA™をご覧ください。

ライトガイド

Cryturでは、複数の検出器と検出装置を対象とした幅広いライトガイドを生産しています。シンチレータの材料や用途に応じて、幅広い原料を使用しています。

  • 有機ガラス(PMMA)
  • 近紫外用特製有機ガラス
  • 光学ガラス(BK7)
  • 石英ガラス
  • 有機ガラスまたは石英ガラスファイバ
  • ファイバ光学プレート(FOP)またはテーパー
  • サファイア
  • YAG(純)

要望に応じて他の材質も可能

 

機能性コーティング

 

The detection scintillator surface is coated to prevent charging, to increase the light output and to protect the scintillator surface.

Conductive coating

  • Al (for light-tight coating, detection surface)
  • ITO (detection surface, high chemical and mechanical resistance)
  • CRYTUR low-energy coating (detection starting from 500V)

High reflectivity / Anti-reflection / Protection

  • Al (high reflectivity)
  • ITO (internal total reflection, mechanical resistance)
  • Au (stop layer)
  • MgF2 (anti-reflection)