REBEKA™ - SEM用リトラクタブルBSE検出器

最適な効率性、少ない残光、30光子/keVで減衰時間75 nsのYAG:Ceシンチレータ

外径15 mm

内穴径1 mm、1.5 mm、2 mm、3 mmこの寸法制限により視野を制限

0.2 keVまで検出できる独自の低エネルギーコーティング技術（CRYTUR LOW-ENERGY COATING™）

ビーム電流1pAまでの感度

寸法：406 x 100 x 72 mm

真空度を極めたベローズ設計

電動引き込み：150 mm

x、y、z軸での微調整：±2 mm

位置決め再現性：0.02 mm

金属保護チューブで覆われた検出器チップの厚さ：3.5 mm / 幅：24 mm

各電子顕微鏡のフランジに対応

白、黒、青の艶消し表面仕上げ

寸法：210 x 180 x 80 mm

電源：230/110 V

各スキャン速度に対応した3つのノイズフィルタ

帯域幅：50 MHz

内蔵電源：光電子倍増管用0-1200 V

ビデオ出力信号：±1V（±5V）

完全遠隔ソフトウェア制御

• Sensitivity at low energies:

• Contrast evolution

Evolution of BSE contrast with increasing landing energy

Sample: Chondrules and metal flakes in Ghubara Meteorite, provided by Institute of Geology CAS 

• Fast scanning speed

Rebeka can operate in a fast scanning speed down to 20 ns / pxl.

Sample: Er / Yb fiber laser - detail, provided by Institute of Photonics and Electronics

• BSE and SE image comparison of the same sample

Sample: Lu₃Al₅O₁₂ with Lu₂O₃ crystals

• IMAGES ACQUIRED WITH REBEKA

Sample: Ir crystals on ceramic surface

Sample: Sn bond on electronic chip

Sample: Natural garnet crystal

Sample: Hg - Pd - Te provided by Czech geological survey