REBEKA™ - SEM용 개폐식 BSE 검출기

REBEKA™ - SEM용 개폐식 BSE 검출기
Rebeka™는 새로 나온 전자 현미경용 개폐식 BSE 검출기로서, Crytur에서 제조되는 최고의 단결정 섬광체와 정밀한 고진공 기구 및 판독 전자장치를 사용이 간편한 하나의 패키지로 결합한 제품입니다.

주요 성질

신뢰성이 뛰어난 센서 정밀 기구
  • 단결정 YAG:Ce 센서

  • 최고의 이미지 품질을 위한 섬광체/PMT 원리

  • 0.5keV의 민감도를 자랑하는 독점 CRYTUR LOW-ENERGY COATING™

  • 탁월한 S/N 비율

  • 무한 센서 수명

  • HV + LV + ESEM 작동

  • 전동 개폐식 장치

  • 벨로우즈 밀폐식 고진공 시스템

  • 수축 시 150mm

  • 콤팩트 디자인

  • 정밀 정렬

  • SEM에 따른 맞춤 연결부

기술 모수

  • 센서 장치

효율 최적화, 후백열성 최소화, 지수적 감쇠 시간 75ns, 30광양자/keV를 자랑하는 YAG:Ce 섬광체

외경 15mm

안쪽 구멍 직경 6 / 4 / 2 또는 1.2mm. 이 치수는 시야각을 제한합니다.

0.2keV의 민감도를 자랑하는 독점 CRYTUR LOW-ENERGY COATING™

1pA 빔전류의 감도

 

  • 기계 장치

 

치수 406 x 100 x 72mm

최고 진공용 벨로우즈 디자인

150mm 전동 수축

x, y, z 축에서 +/- 2mm 미세 조정

0.01mm 반복성

금속 보호 튜브로 감싼 검출기 끝, 최종 두께 3.5mm, 너비 24mm

고객 SEM에 맞게 조정한 플랜지

백색 / 검정색 / 청색 무광으로 마감한 표면 제공

 

  • 전자장치 제어 장치

치수 210 x 180 x 80mm

공급 전압 230/110V

서로 다른 스캐닝 속도에 맞게 최적화된 세 가지 노이즈 필터

50MHz 대역폭

PMT HV용 내부 전원 0-1200V

출력 비디오 신호 -1/+1V(-5/+5V)

완벽한 원격 소프트웨어 제어

샘플 이미지

 

  • Sensitivity at low energies:
  • Contrast evolution

Evolution of BSE contrast with increasing landing energy

Sample: Chondrules and metal flakes in Ghubara Meteorite, provided by Institute of Geology CAS 

  • Fast scanning speed

Rebeka can operate in a fast scanning speed down to 20 ns / pxl.

Sample: Er / Yb fiber laser - detail, provided by Institute of Photonics and Electronics

  • BSE and SE image comparison of the same sample

Sample: Lu3Al5O12 with Lu2O3 crystals

  • IMAGES ACQUIRED WITH REBEKA

Sample: Ir crystals on ceramic surface

Sample: Sn bond on electronic chip

 

Sample: Natural garnet crystal

 

Sample: Hg - Pd - Te provided by Czech geological survey