REBEKA™ - SEM용 개폐식 BSE 검출기

효율 최적화, 후백열성 최소화, 지수적 감쇠 시간 75ns, 30광양자/keV를 자랑하는 YAG:Ce 섬광체

외경 15mm

안쪽 구멍 직경 3 / 2 / 1.5 또는 1mm. 이 치수는 시야각을 제한합니다.

0.2keV의 민감도를 자랑하는 독점 CRYTUR LOW-ENERGY COATING™

1pA 빔전류의 감도

치수 406 x 100 x 72mm

최고 진공용 벨로우즈 디자인

150mm 전동 수축

x, y, z 축에서 +/- 2mm 미세 조정

0.02mm 반복성

금속 보호 튜브로 감싼 검출기 끝, 최종 두께 3.5mm, 너비 24mm

고객 SEM에 맞게 조정한 플랜지

백색 / 검정색 / 청색 무광으로 마감한 표면 제공

치수 210 x 180 x 80mm

공급 전압 230/110V

서로 다른 스캐닝 속도에 맞게 최적화된 세 가지 노이즈 필터

50MHz 대역폭

PMT HV용 내부 전원 0-1200V

출력 비디오 신호 -1/+1V(-5/+5V)

완벽한 원격 소프트웨어 제어

• Sensitivity at low energies:

• Contrast evolution

Evolution of BSE contrast with increasing landing energy

Sample: Chondrules and metal flakes in Ghubara Meteorite, provided by Institute of Geology CAS 

• Fast scanning speed

Rebeka can operate in a fast scanning speed down to 20 ns / pxl.

Sample: Er / Yb fiber laser - detail, provided by Institute of Photonics and Electronics

• BSE and SE image comparison of the same sample

Sample: Lu₃Al₅O₁₂ with Lu₂O₃ crystals

• IMAGES ACQUIRED WITH REBEKA

Sample: Ir crystals on ceramic surface

Sample: Sn bond on electronic chip

Sample: Natural garnet crystal

Sample: Hg - Pd - Te provided by Czech geological survey